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光學干涉測厚系統

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光學干涉測厚系統
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納米級光學干涉測厚儀

應用: PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層

產品簡介

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相干測量學,用于測量半導體制造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體制造設備上的APC和薄膜的質量控制,能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度,精準度可達納米級。   

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用于生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測,ITO玻璃鍍膜檢測,PET涂布在線膜厚檢測,金屬表面涂層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。

             

工作原理: 分光干涉法

當光入射到樣品內部,會發生多重反射現象,多重反射光會由于相互之間的相位差增強或減弱,而相位差取決于樣品的折射率和光程,因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關系。光譜干涉法就是利用這種獨特的光譜分析出樣品的厚度,該厚度測量儀器根據測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。

 

         

 

應用范圍:

 

?PET薄膜厚度測量

?涂層厚度測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等涂布厚度或克重的測量

?用于包裝的PET表面介質膜克重或膜厚測量

?金屬表面透明和半透明漆膜涂層

 

產品優勢:

在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量

通過光強波動校正功能實現長時間穩定測量

提醒及警報功能(通過或失敗)

反射(透射)和光譜測量

同步測量多層厚度

高速、高準確度

 

 

參數:

型號

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可測膜厚范圍

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

測量可重復性

0.02 μm

測量準確

±1%

光源

鎢鹵素燈

測量波長

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光斑尺寸

約φ1 mm

工作距離

10 mm

可測層數

最多10層

分析

FFT 分析,擬合分析

測量時間

19 ms/點

外部控制功能

Ethernet

接口

USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口)

電源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗

約330W(2通道)~450W(15通道)

 

 

PSD-200實驗室型納米級光學干涉測厚儀    

用途:

·太陽能減反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光學玻璃鍍膜等測量。

·PET膜透明膠膜厚測量

·膜厚,顏色,粗糙度,透過率,反射率,霧度

·可用于實驗室離線測量

技術水平:

·精度0.1%,達到國際同類產品水平

·檢測透明和半透明涂層

·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀,具有測量速度快,測量準確,操作簡便的特點。

 

 

 

技術參數:

產品類型

可見光

紫外+可見光

厚度測量

15nm-100μm

1nm-100μm

折射率

厚度要求100nm以上

厚度要求50nm以上

準確性

2nm或0.5%

精度

0.1nm

測量時間

小于1秒

光斑大小

大約1mm

 

 

軟件:


·實時顯示反射率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和折射率;同時具有仿真功能

·支持多角度各種入射條件下的仿真和擬合

·在線/離線監控和歷史數據界面

·輸出至SQL服務器;小型內置式SQL

·可根據客戶要求定制界面

 

 


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